支持5X-100X物镜

高精度、宽工作范围的激光自动聚焦模式

高倍半导体自动
对焦系统AOI

AOI检测不仅仅是一部检测设备，对大量不良结果进行分类和统计，可以发现不良发生的原因，在工艺改善和生产良率提升中也正逐步发挥着更重要的作用，我司高倍半导体自动对焦系统AOI，在电子元件、半导体缺陷等等邻域有多个解决方案。

应用领域

晶圆无图案/有图案检测

面板检测

IC载板检测

OLED缺陷检测

项目

放大倍率
景深
激光对焦范围
激光对焦频率
对焦精度
对焦方式
激光性能
波束形状
激光自动聚焦循环时间
物镜切换时间
物镜切换精度
尺寸
工作温度
重量
靶面尺寸

搭配Plan APO 无限远显微物镜

5KHz
max 0.25倍物镜景深
同轴激光追焦
670nm线激光
45°倾斜线激光
<0.1s
<0.5s
0.5um
285mm*525mm*210mm
5~50℃
13kg
靶面支持φ30mm

高精度、宽工作范围的激光自动聚焦模式，支持
5x~100x物镜

可增加物镜切换器，最多支持5个物镜切换

使用紧凑的结构设计使产品具有最小体积与重量

可依照客户要求定制

高倍半导体自动对焦系统AOI（手册）

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